Термин образован путем слияния греческого корня ‘thermo-’ (тепло) и слова ‘electron’ (электрон). Понятие появилось в международной научной среде на рубеже XIX и XX веков благодаря фундаментальным исследованиям термоэлектронной эмиссии, которые проводились преимущественно физиками в Великобритании и США (в частности, в рамках изучения эффекта Эдисона), что сделало это слово общепринятым стандартом в мировой науке.