Слово образовано от греческих корней ‘stereos’ (твердый, пространственный) и ‘metron’ (мера). Термин возник в европейской научной среде в конце XVIII века для обозначения физических приборов, измеряющих объем твердых тел и удельный вес жидкостей. В дальнейшем во всем мире, особенно в странах с развитой геодезией, картографией и аэрофотосъемкой, стереометрами стали называть оптико-механические инструменты для измерения пространственных координат и стереоскопического параллакса по парным снимкам.