Термин образован путем слияния латинского слова ‘vacuum’ (пустота) и греческого ‘metron’ (мера). Это классический пример международного научно-технического неологизма, который закрепился в английском языке в XIX веке на фоне бурного развития физики и инженерии в Великобритании и Европе, став общепринятым названием прибора для измерения давления разреженных газов (вакуумметра) в мировой промышленной практике.