Lithography

explosive lithography — взрывная литография  
high-voltage electron-beam lithography — высоковольтная электронно-лучевая литография  
holographic lithography — голографическая литография  
i-line lithography — фотолитография на длине волны 365 нм  
imprinting lithography — литография по методу импринтинга  
interferometric holographic lithography — интерферометрическая голографическая литография  
ion-beam lithography setup — установка ионно-лучевой литографии  
ion-beam lithography — ионно-пучковая литография; ионно-лучевая литография; ионная литография  
ion lithography — ионно-пучковая литография; ионно-лучевая литография; ионная литография  
laser-assisted nanoimprinting lithography — литография по методу лазерного наноимпринтинга