Submicrometer

submicrometer geometry — геометрия ИС с элементами субмикронных размеров
submicrometer dimension — субмикронный размер
submicrometer structure — структура с субмикронными размерами элементов
submicrometer patterning — нанесение рисунка с субмикронными проектными нормами
submicrometer resolution — субмикронная разрешающая способность
submicrometer processing — обработка для формирования субмикронных структур
submicrometer-wide emitter — эмиттерная область субмикронной ширины
submicrometer plate heights — субмикрометровая высота теоретической тарелки