Submicron

submicron structure — структура с субмикронными размерами; субмикронная структура
submicron patterning — формирование рисунка с элементами субмикронного размера
submicron technology — технология ИС с субмикронными размерами элементов
submicron lithography — литография для изготовления ИС с субмикронными размерами элементов
ultra-submicron device — ультрасубмикронный прибор
submicron mask aligner — установка совмещения с субмикронной разрешающей способностью
submicron channel width — субмикронная ширина канала
submicron crystallography — субмикронная кристаллография
submicron heterostructure — субмикронная гетероструктура
submicron integrated circuit — ИС с субмикронными элементами
submicron refractory dispersoids — ультратонкие тугоплавкие дисперсные частицы